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新一代晶圆清洗车间废气处理设备流程及组成

发布时间:2021-06-09 17:18:30

废气处理设备

       圆清洗车间都会有安装废气处理设备,是因为用于晶圆清洗的化学药品,一般是结合氢氟酸、硫酸、盐酸、双氧水等的清洗方法,但这些化学药剂会产生作用强的废气,对人体和环境有不利影响。另外,新一代晶圆清洗废气设备对使用臭氧水清洗晶圆目前也有研究,但即使在60ppm浓度下,晶圆清洗产生的废气也会对人体造成很大损伤。另外,晶圆清洗车间臭氧发生器的废气回收率低至50%左右,不仅需要较大的臭氧发生器,而且还要处理大量的臭氧废气处理设备。

       新一代晶圆清洗车间废气处理设备采用高压、高浓度放电式废气发生器,通过设计自主研发的废气回收设备和喷淋塔废气处理设备,可实现100至150ppm的晶圆废气处理。此外,由于可以回收90%以上的废气臭氧,因此可以显着减少晶圆清洗废气处理催化剂的使用量。以往,作为臭氧水的生成方法,有扩散器法和填充床法。在扩散法中,臭氧被吹入水中,但为了尽可能减少昂贵的臭氧使用量,分散的臭氧量不可避免地很小,无论产生多么细小的气泡,气液世界,由于面积的绝对量小,所以能吸收的臭氧量也小。另一方面,在圆清洗车间废气处理中,由于臭氧量少,臭氧在废气处理设备内几乎停滞,这也没有发挥晶圆清洗的优势。

       新一代废气处理设备是一种结合了填料塔和搁板塔优点的喷淋塔废气处理设备,每一级都装满了填料。我们可以提高臭氧浓度的原理是,在每个小级中可以使气流更接近活塞流,并且可以确保每个级的浓度差。这也导致塔高度不到一般填充床的一半,从而可以设计紧凑的晶圆清洗车间废气处理设备。

       新一代晶圆清洗车间废气处理设备合成的这种高浓度臭氧水可预期具有等于或高于传统清洗水的去污力,并且通过抗蚀剂剥离可实现3至4μm的高速率清洗。新一代废气处理设备不需要像以往那样对氯化氢、氨等晶圆清洗废气进行处理,设备占地面积更小,而且能够降低废气处理设备运行成本。

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