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太阳能电池制造过程中硅烷废气处理设备

发布时间:2021-06-09 13:05:11

       有机废气处理设备近年来在新能源行业用的越来越多,主要是由于太阳能电池制造市场的快速活跃,作为其原料的甲硅烷和氯硅烷等硅烷气体制造商以及单晶/多晶Si制造商开始快速生产。生产制造过程中会产生未反应的硅烷废气,而硅烷气体已被常规水分解。由于该方法未通过RCO催化燃烧设备催化处理,不使用燃料,虽然运行成本较低,但分解硅烷废气后产生的SiO2分散在水中形成凝胶状物质,造成废气处理设备分解塔内部堵塞。此外,产生的凝胶状物质极难过滤,分体式滤筒除尘器滤筒也经常堵塞。

废气处理设备

       通过RTO催化燃烧设备对硅烷气体进行废气处理,它可以在没有上述问题的情况下处理干燥状态的硅烷废气。该系统结合了最初开发的特殊RTO催化燃烧设备和废气处理装置。

       专用的废气处理设备不仅可以太阳能电池制造过程中处理甲硅烷、氯硅烷等气态硅化合物,还可以处理含四氯化硅和二氧化硅的废油等液态硅化合物。此外,它配备了特殊的机制,防止二氧化硅在燃烧后附着在废气处理设备上,保证设备连续运行没有问题。

       通过RTO催化燃烧设备燃烧雾化的硅烷废气,之后由气体冷却器冷却并由过滤器收集。处理硅烷废气气体时,分解产生的硅烷会附着在回收的二氧化硅上,利用一种通过加热二氧化硅来解吸粘附的氯化氢来回收硅烷废气。另外,硅烷废气中所含的氯化氢被供给至后段的废气回收装置。该废气处理装置由吸收塔、排放塔和减排塔组成,它们是使用填料陶土的填料。该装置可在第一吸收塔高效吸收硅烷废气中的氯化氢,并可通过喷淋塔废气处理设备将盐酸浓度从20%以上设定为100%氯化氢来回收稀盐酸。在减排塔中,少量无法吸收的有害硅烷废气将保持在规定值以下,经过处置后太阳能电池制造过程产生硅烷废气被有效处置,降低对环境跟人体的危害。华润利尔(青岛)环保技术有限公司主要从事新型绿色、环保节能废气处理设备的研发和生产。

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