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工业废气处理等离子体离子清洗机组

发布时间:2021-08-06

废气处理机组

       工业废气处理的等离子体污染废气处理机组气体系列采用分散式等离子清洗系统,用于处理污染洗涤气体和蚀刻工艺产生的废气,通常用于半导体或光伏减排行业。

       工艺气体——特别是破坏气候的污染气体,以及颗粒物得到有效消减和可靠处理的工业废气处理装置。处理颗粒物废气工厂的低温等离子净化设备是电动操作的。与废气工厂的燃烧器-清废气处理机组洗系统相比,洗涤不需要供应燃气。等离子源、燃烧室、湿式洗涤器、废气入口和冷却系统等独立的功能单元可轻松适应任何应用。个性化的低温等离子净化设备系统配置是延长维护间隔和处理颗粒物废气延长使用寿命的关键。

工业废气处理

等离子体离子机组非常高效的气体减排系统,尤其是污染气体PFCs

       无需燃气供应;

       等离子体离子清洗机组维护间隔长和正常运行时间长;

       综合安全功能作为标处理颗粒物废气准集工业废气处理成;

       德国制造洗涤的质量;

废气处理机组选项:

       广泛的过程特定设备功能;

       可定制的备用配减排置;

       等离子体离子清洗机组应用;

       CVD污染气体工艺;

蚀刻工艺。

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