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喷淋塔废气处理设备的原理规格

发布时间:2021-07-01

废气处理设备

       喷淋塔废气处理设备的维护既快捷又方便,可从正面和背面进行操作和维护。经济有效的系统只需要很小的空间。设备操作成本和总体安全性可以通过过程工具界面进行优化。

喷淋塔废气处理设备的工作原理:

       工艺工具的废气通过多达四个单独的连接引入洗涤器,专门设计用于防止堵塞。随后,气流根据并流或逆流原理通过填充床或喷雾洗涤器进行纯化。从气流中去除水溶性成分是通过在水中的物理吸收来实现的。为了提高洗涤效率,洗涤液可以选择性地加入化学品。该系统可以设计为一级或二级洗涤器。在最后一个吸收步骤之后,通过除雾器从清洁气流中去除夹带的洗涤液滴。该系统由可编程逻辑控制器自动控制,符合SEMIS2的安全要求。

废气处理设备

模块化的喷淋塔废气处理

       模块化湿式洗涤器,用于有效处理不同应用废气中的水溶性成分。进气口专门设计用于防止堵塞,可用作一级或二级洗涤器。基于紧凑和模块化设计,湿式洗涤器将根据客户要求进行优化。根据洗涤器的配置,气体入口可以可选地加催化燃烧到洗涤器阶段或洗涤液罐,以避免由废气供应中的冷凝气体引起的问题。为了提高洗涤效率,洗涤液可以选择性地加入化学品。

       专门设计用于处理半导体行业外延工艺的废气。洗涤器符合使用氢气作为工艺载气时所需的高安全标准。在洗涤过程之后,氢气被安全地稀释到其爆炸下限。废气通过多达三个单独的连接引入,专为防止堵塞而设计。入口和进料管线都有可选的加催化燃烧系统。

废气处理设备

设备规格:

       无入口堵塞

       占地面积小

技术数据

       尺寸(宽x深x高):1165毫米x820毫米x1944毫米

       喷淋塔废气处理设备正面和背面的维护区域:

       气体入口:4xDN40—DN150

       气体出口:2xDN100或DN150(特定应用)。

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