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氨分解废气设备

发布时间:2021-11-25

       HRLE型(NH3分解和废气设备)主要用于处理GaN制造过程中产生的废气。

NH3分解废气设备

       常温干法脱毒与基于催化剂分解的脱毒有效结合,确保更低的运行成本、更容易的维护和更小的环境影响。

       氨分解废气设备特征

       HRLE型废气设备是通过催化剂将NH3分解为氮气和氢气,从而达到完全解毒。

       不会产生NOx排放,NOx是NH3氧化解毒的副产品。

       因为不是燃烧器型(燃烧型),所以不需要丙烷供给设备和排水系统。(但是,A20使用水冷分解塔。)

       确保脱毒气体中目标有害气体的浓度达到ACGIH/TLV-TWA。

       吸附再生型无需更换后处理塔解毒剂,废气设备运行成本低。


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