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燃烧式废气净化器

发布时间:2021-11-25

       该废气设备旨在利用燃烧器的加热废气通过热分解对半导体制造设备产生的SiH4等氢化合物和C2F6、WF6等氟化合物的废气进行无害化处理。

废气设备

       热分解的副产物(SiO2粉末、酸性气体等)由设备中的湿式洗涤器去除。

特征

       由于燃烧喷嘴和二次燃烧室的独立设计,确保火焰始终稳定,不受废气流量变化的影响。

       可容纳高达500次/分钟的废气流速(最多支持4个端口)。

       在二次燃烧室的侧壁上形成空气幕,防止燃烧产生的副产品粘附。

       采用燃烧处理后立即喷淋冷却水直接冷却。这减少了所需的空间量。

       借助罐内恒定的水循环,防止SiO2粉末和浆液在循环泵中可能出现的问题。

       由于安装了各种传感器,提高了安全性。

       通过触摸屏轻松识别治疗进度和操作状况。


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